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實(shí)驗(yàn)室想采購(gòu)一中頻爐，想先請(qǐng)教各位一些問(wèn)題

因?yàn)楸救藢?duì)這方面不懂，想請(qǐng)教各位一些比較菜的問(wèn)題，先說(shuō)一下情況

所在的實(shí)驗(yàn)室，是做功能材料的生長(zhǎng)，比如在硅片上長(zhǎng)薄膜材料，生長(zhǎng)時(shí)需要對(duì)硅片進(jìn)行加熱，

硅片是放在鉬托盤(pán)上，托盤(pán)是旋轉(zhuǎn)的。現(xiàn)在是采用電阻絲加熱的方式，老師想改成感應(yīng)加熱的方式。

基本的要求都在下面的圖里，不知道這些要求容易達(dá)到不？能不能直接購(gòu)買(mǎi)到符合要求的成品設(shè)備，還是需要定做？

 

 

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xiyz
LV.5
2
2010-11-10 17:34
要求多少時(shí)間達(dá)到1000度？
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zhaowang
LV.2
3
2010-11-10 22:06
@xiyz
要求多少時(shí)間達(dá)到1000度？

謝謝您的關(guān)注，

這個(gè)沒(méi)有嚴(yán)格的時(shí)間要求，半個(gè)小時(shí)內(nèi)能達(dá)到都可以。

我們并不要求快。

而且目前溫度能到800度已經(jīng)夠用了。

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xiyz
LV.5
4
2010-11-11 13:09
@zhaowang
謝謝您的關(guān)注，這個(gè)沒(méi)有嚴(yán)格的時(shí)間要求，半個(gè)小時(shí)內(nèi)能達(dá)到都可以。我們并不要求快。而且目前溫度能到800度已經(jīng)夠用了。
半個(gè)小時(shí)內(nèi)能達(dá)到都可以。那功率1000W以下的超音頻電源就可以了，一般幾分鐘就達(dá)到1000度。但要求功率穩(wěn)定地大范圍可調(diào)?？梢远ㄖ?/div>
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2010-11-11 20:51
@xiyz
半個(gè)小時(shí)內(nèi)能達(dá)到都可以。那功率1000W以下的超音頻電源就可以了，一般幾分鐘就達(dá)到1000度。但要求功率穩(wěn)定地大范圍可調(diào)?？梢远ㄖ?/span>
樓上的兄弟，你看清楚了，樓主要加熱的材料是鉬！1000W以下的超音頻能搞定嗎？
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xiyz
LV.5
6
2010-11-12 12:11
@firefox886
樓上的兄弟，你看清楚了，樓主要加熱的材料是鉬！1000W以下的超音頻能搞定嗎？
要加熱的材料是鉬有什么問(wèn)題嗎，論功率500W以下都可以，論頻率30KHZ左右比較合適
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2010-11-12 22:20
@xiyz
要加熱的材料是鉬有什么問(wèn)題嗎，論功率500W以下都可以，論頻率30KHZ左右比較合適
那你賣臺(tái)機(jī)子給樓主試試！
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cml1861
LV.2
8
2010-11-28 06:34

請(qǐng)聯(lián)系13583213318 我可以幫你搞定

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yhxxm60
LV.5
9
2010-12-10 15:12

我以前做這類設(shè)備是用碘鎢燈做襯底加熱的  做淀積 刻蝕 濺射之用的

這個(gè)要求用感應(yīng)加熱可以實(shí)現(xiàn)  電壓是不能太高  高了會(huì)打火

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